蝕刻未淨的原因有:
1、蝕刻速度過快
2、蝕刻藥水太稀
對策:可適當降低蝕刻速度
線幼的原因有:
1、蝕刻溫度過高
2、顯影速度太慢
對策:
1、降低蝕刻溫度
2、加快顯影速度太慢
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